В этой статье рассматривается важность и безотлагательность содействия развитию индустрии ИС, а также ключевая технология контроля загрязнения поверхности пластин ИС (SECC). Недавно IRDS 2020 четко выдвинул ключевое объяснение повышения выхода годных, указав, что молекулярное загрязнение воздуха (AMC) является важным фактором, вызывающим случайные дефекты в пластинах, и этот эффект станет более серьезным с уменьшением ширины линии пластины. В этой статье перечислены технологические требования к контролю загрязнения поверхности окружающей среды с 2021 по 2027 год в соответствии с допустимой концентрацией контроля различных загрязнителей воздуха в каждом процессе производства, она выражается в ppTV. Из-за строгого стандарта контроля требуется, чтобы проектирование системы вентиляции для контроля химического загрязнения в чистых помещениях и связанных с ними контролируемых средах, выбор химического воздушного фильтра, настройка и требования к производительности. Это должно выполняться строго в соответствии со стандартом. Кроме того, показатели производительности химического воздушного фильтра, испытательная установка фильтра и процедура испытаний в стандарте ASHRAE 145.2-2016, а также другие материалы.

Или мы могли бы воплотить мечты об уборке в жизнь, салфетки для чистых помещений ? Я думаю, ответ — ДА.